Deposición de películas delgadas

Deposición de películas delgadas de materiales dielectricos sobre sustratos

Deposición química de vapor (CVD), PECVD , RTP, MPCVD, ALD.

Deposito física por vapor (PVD) Evaporador por haz de electrones (e-beam), Sputtering (DC y RF)

Películas delgadas de diamantes ultra nano cristalinos

Fabricación de dispositivos electrónicos

Tecnología avanzada para crear dispositivos con precisión, desde fotolitografía hasta litografía por haz de electrones.

Fotolitografía

Alineadora de máscaras

Campanas para proceso húmedos

Proceso para el grabado ionico reactivo (RIE)

Facilita la adhesión de la foto resina

Horno HMDS

Litografía por haz de electrones

Resolución de 10 nm, Sustratos de hasta 6”, diseño de patrones (AutoCAD), capacidad para grabado en sistema vector, raster, spot scan y sistema overlay (multicapa), detector de electrones secundarios (SEM).

Caracterización de materiales

Medición de propiedades físicas y químicas de películas y materiales nanoestructurados .

Perfilómetro

Medición precisa de Superficies

Elipsómetro

Mediciones de espesor.

Microscopio electrónico de barrido (SEM)

Microscopio de fuerza atómica (AFM)

Topografia de la superficie de la muestra, capacidad de determinar fuerzas adhesión, campos magnética y propiedades mecánicas.

Determinación de morfología superficial, analisis químico semi cuantitativo.

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